Специалисты научного центра «Передовые цифровые технологии» СПбПУ разработали отечественную установку вакуумного магнетронного осаждения, сообщает пресс-служба Минобрнауки РФ.
Инновационное оборудование позволяет наносить сверхтонкие покрытия толщиной от 10 нанометров на различные материалы, включая кремний, карбид кремния и алмаз. Принцип работы основан на распылении атомов мишени в вакуумной среде с помощью плазмы.
«Установка способна заменить иностранные аналоги и модернизировать советское оборудование на производствах за 3-9 месяцев», — отметил заведующий лабораторией Артем Осипов.
Ключевое преимущество разработки — универсальность применения. Магнетрон работает как с ферромагнитными металлами, так и со сложными составами вроде индий-олова, необходимыми для создания солнечных элементов и прозрачных проводников.
Технология найдет применение в микроэлектронике, оптоэлектронике, автомобилестроении и медицине.
